表面阻抗測試器該類儀器通常具備測量表面阻抗與電阻的功能，測量範圍例如10³-10¹²Ω。部分型號可能集成環境溫濕度檢測功能，並設計有盤形電極與平行電極等不同探頭以適應多種測試場景。其測量系統可能包含特定電路與元件以實現所需精度，例如精度可達±5% 。相關設計需符合ESD協會S4.1、S7.1及S11.11等標準 。

表面阻抗測試器是一種專門用於測量材料表面電阻(率)或表面阻抗的電子儀器。測量物件包括表面電阻（單位歐姆Ω）、表面電阻率（單位歐姆每平方Ω）和表面阻抗（單位歐姆Ω），其中表面電阻率是衡量材料表面阻止電流流動能力的固有特性。其核心作用是評估材料的靜電耗散能力或導電能力，對於靜電防護（ESD Control）至關重要。儀器通常配備兩個或多個平行排列的電極（常稱為“探頭”或“電極棒”），將其按標準要求（如一定的間距和壓力）放置在被測材料表面，內部產生一個已知的測試電壓（通常較低且安全，如10V或100V），並測量流過材料表面的微弱電流，

最後根據歐姆定律（電阻(R) = 電壓(V) / 電流(I)）計算出材料表面的電阻值並顯示。

測量表面阻抗對於防止靜電積累、控制靜電泄放速度、確保生產過程的品質控制、進行材料特性研究以及安全評估（如在易燃易爆環境中防止靜電火花）具有重要意義 。